德国centrotherm E2000-大批量生产的卧式炉
| 加工定制是 | 品牌德国centrotherm |
| 类型卧式炉 |
centrotherm 2000专为大批量生产而设计，支持多种工艺能力，适用于大批量生产和高工艺性能的用户，并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性，并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的sic工艺管
特点：
适用于常压以及lpcvd和pecvd工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试
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