反射式数字全息显微镜_DHM
动态视频级的超分辨显微——lyncee dhm
纵向亚纳米精度，视频级成像速率，表征样品实时动态响应
mems复杂运动分析，样品动态表征
系统
dhm型号
t1000
t2100
激光光源数量
1
2
工作波长 (± 1.0 nm)
666 nm
666 nm, 794 nm
激光波长稳定性
0.01 nm/°c at 666 nm
样品台
手动或电动 xyz 三轴样品台，最大移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm
物镜
放大倍数 1.25x 至 100x，可选标准物镜、高na值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
物镜台
6口旋转物镜台
电脑
dell最新工作站，intel® 多核处理器，高性能显卡
针对dhm® 优化配置，最小21寸显示器
专用软件
koala专用数据采集分析软件，基于c++ 和 .net
附加专用分析软件供不同应用分析(mems analysis tool，cell analysis tool，reflectometry analysis)
数据格式
多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式
图像格式包括.tif格式和.txt矩阵格式
性能
测量模式
单激光波长 666 nm
双激光合成波长 8 μm 4
可用该测量模式的dhm型号
t1000, t2100
t2100
测量精度1 [nm]
1.0 4
1.0 / 5.04 *
纵向分辨率2 [nm]
2.04
2.0 / 10.04 *
测量可重复性3 [nm]
0.024
0.02 / 0.054 *
动态可测纵向范围
最大 500 μm 4
最大 500 μm 4
最大可测台阶高度6
最大 1.0 μm 4
最大 3.5 μm 5
最大 7.0 μm 4
最大 22 μm 5
垂直校准
由干涉滤光片决定，范围 ±0.1 nm
图像采集时间
标准 500 μs (最快可选 10 μs)
图像采集速率
标准 30 帧/秒 1024 x 1024 像素 (最快可选 1000 帧/秒)
实时重建速率
标准 25 帧/秒 1024 x 1024 像素 (最快可选 100 帧/秒 )
横向分辨率
由所选物镜决定，最大 300 nm **
视场
由所选物镜决定，范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **
工作距
由所选物镜决定，范围从 0.3 to 18 mm **
数码聚焦范围
最高 50倍于景深 (由所选物镜决定)
样品照明
最低 1 μw/cm2
、访问瞬渺光电官网 获取更多产品信息
空间光调制器 波前分析仪 自适应光学系统 数字微反射镜 dmd 光刻仪 光学元件器件doe
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激光功率能量计 质量分析仪 位敏探测器 光电探测器 光学斩波器 红外观察仪及防护镜 红外相机
太赫兹光谱仪 太赫兹相机 太赫兹功率计 太赫兹探测器 太赫兹元器件
光纤熔融拉锥机 光纤跳线及配件 无源器件
普克尔盒 电光调制器 法拉第隔离器 半导体可饱和吸收镜
上海瞬渺光电技术有限公司
17621043207
中国 上海
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测量精度1 [nm]
1.0 4
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2.04
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