供应质量流量计气体混合配比器

是否进口否	产地郑州
品牌科探仪器设备	型号KT
加工定制是	订货号001
货号20180502	测量精度详询
结构型式详询	显示方式详询
外形尺寸详询mm	开孔尺寸详询mm

概览
气体质量流量控制器(mfc)和气体质量流量计(mfm)用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延炉、扩散炉、cvd、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机；以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0~5v 模拟信号，4~20ma 或 0~20ma 模拟信号，可以使用双电源(±8~±16 vdc)或单电源(+14~+28 vdc)。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 digital mfc。cs200-c 与 cs200-d 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中 cs200-c 金属表面符合 semi 标准的要求。
cs200-a,c,d mfc 默认配置为：mac 地址：32；rs485 通信波特率：19200；控制方式：0~5v 电压控制。
更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
标定
cs200-a,c,d mfc/mfm 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，
则按照标准状况标定。
1、标准状况
出口压力：大气压气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
sccm：标准毫升/分钟slm：标准升/分钟标准状态：温度 0°c (273.15k) 气压：101325pa (760mm hg)
在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。mfc/mfm 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺及其它位置的安装，为保证的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
2、制造环境
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是在温度为 22±2°c的 100 级的净化间内组装，1000 级净化环境下标定及包装。
3、精度调节cs200-a,c,d 型 mfc/mfm 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂。
使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 cs 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司不予承担。
a)请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或维修的时候必须保证安全标签完好无损。
b)请联络专业工作人员为您服务
使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服务。
c)使用危险气体时请特别注意
如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿,须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。
d)吹洗仪器时特别注意
在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道内剩余气体的残渣。
e)请遵照合适的步骤吹洗
产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。
f)请勿在爆炸性环境下使用本产品
为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证。
g)请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作
所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。
h)请检查产品接头处是否漏气
请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。
i)请使产品在安全入口压力下工作
请勿使仪器的入口压力超出工作压力(请参阅产品说明书中的工作压力)
j)请使整个系统远离污染
系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻璃碎片或者铁屑等。
k)请预热仪器后再使用
请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用关闭的阀以确保在预热过程中不会有错误的流量通过。
概述
cs200-a,c,d 型产品是七星电子采用进的数字技术研发的产品。在传感器的驱动，零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性。
控制方式
cs200-a,c,d 型产品兼容数字模拟控制方式，客户可以根据需要选择控制信号方式，产品支持数字控制，0~5v 电压控制和 4~20ma 或 0~20ma 电流控制。当客户选择了其中一种控制信号，其他两种控制信号将被系统自动屏蔽。而流量检测信号则通过数字方式，0~5v 电压和 4~ 20ma 或 0~20ma 电流同时送出，互不影响。更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
调零
客户可以通过调零来修正流量计的零漂。在调零以前，客户需要首先确认产品没有气体通过，然后通过软件命令或者调零按钮进行调零操作，如果采用调零按钮的方式，确认按下调零按钮长于 5 秒，直到 led 绿色指示灯闪烁，即可松开。调零过程完成后，led 绿色指示灯将停止闪烁 (profibus 产品有调零功能，但无此指示灯)。
软启动
cs200-a,c,d 型产品支持软启动功能。软启动是指客户根据需要，按照一定的斜率改变 mfc 的设定。更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
延迟
当设定点低于***小可控值(2%f.s.)，mfc 将关闭控制阀；当设定值大于***小可控值，mfc 将等待延迟时间后再开始调节。客户可以设定该延迟时间，延迟时间值表示 mfc 将延迟的毫秒数，例如设定延迟时间为 200，mfc 将延迟 200ms 再开始调节工作。
特别规定；当延迟时间值为 1 到 49 时，mfc 将默认为 100ms 以后开始工作。
阀控制
cs200-a,c,d 型产品支持通过数字通讯或者模拟电压的方式直接关闭或者打开 mfc 的电磁调节阀。更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
阀类型
cs200-a,c,d 型 mfc 的电磁调节阀分为常开阀和常闭阀两种类型。常开型 mfc 在不接通电源时，电磁阀为全开状态，气体可以流通；常闭型 mfc 在不接通电源时，电磁阀为关闭状态。因此用户在购买产品时应说明阀类型。
多气体多量程
cs200-a,c,d 型产品支持多气体多量程功能,客户可以根据自己的需要，更换 mfc 的气体，更换 mfc 的气体转化系数,客户只要将新的气体转化系数通过控制软件输入 mfc 即可，气体转化系数请参考附录中的转化系数列表。产品允许客户在一定范围内选择满量程，范围不要超过原始满量程的 0.3~1.1 倍。例如，一台原始满量程为 100sccm 的 mfc，可以选择的满量程范围不超过 30sccm~110sccm。客户只要将新的满量程值(单位 sccm)通过控制软件输入 mfc 即可。
cs200-a,c,d 型产品支持客户零点(target null value)功能。客户可以制定 mfc/mfm 的零点所在的真实流量值(%f.s.)。例如，设定 target null value 为-20%f.s.，则当 mfc/mfm 没有气体通过的时候，其流量读数为-20%f.s.，当 mfc/mfm 通过的真实气体流量为 20%f.s.，mfc/mfm 的读数为 0%f.s.。该功能不受调零、客户满量程等影响。客户零点的范围是-100%f.s.到 100%f.s.。
更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
累积流量
cs200-a,c,d型产品可以记录和输出通过mfc/mfm的气体流量累积值。累积值的单位为标准毫升(scc)。例如累积值的读数为 3000，则说明通过该 mfc/mfm 的气体已累积到 3000 标准毫升(scc)。
更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
报警
cs200-a,c,d 型产品提供自动警告和错误报警功能。客户可以根据需要打开或者禁止该功能，在客户没有特殊要求时，报警功能默认为关闭状态。mfc/mfm 可以提供的警告和错误报警:
传感器警告和错误报警eeprom 错误控制阀错误温度警告和错误报警当 mfc/mfm 发生警告，led 指示灯将红灯闪烁。当 mfc/mfm 发生错误报警，led 指示灯将红灯常亮。更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
led 指示灯
cs200-a,c,d 型 485 通讯产品顶部有 1 个 led 指示灯,通常通电情况下绿色常亮，绿色常亮表示工作正常，绿灯闪烁表示 mfc/mfm 正在自动调零。如果红灯闪烁表示 mfc 有警告出现，如果红灯常亮则表示 mfc/mfm 有错误出现。
cs200-a,c,d型devicenet通讯产品顶部有2个led指示灯，指示灯状态情况见产品附光盘中 cs200mfc(cs220)_dnetspecification_v1.01 文件。
cs200-a,c,d 型 profibus 通讯产品顶部有 1 个 led 指示灯，当 profibus 通讯正常时，此灯绿色常亮；不亮说明profibus 通讯有故障。
注意 :当质量流量控制器的电磁阀全开时，也可以当质量流量计使用。在做流量计使用时,流量检测电压的输出值可能达+10v 以上，不过要注意，当流量超过满量程值(+5v)后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。
联系电话：0371-60308298
手机/微信：152 8682 6848
qq:760625767
联系人：李工

郑州科探仪器设备有限公司
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